探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO 膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭， 也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

儀器具有測(cè)量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

BEST-300C 型材料電導(dǎo)率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試試導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)等三部分組成。

主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動(dòng)/手動(dòng)量程可選；電阻率、方阻、電阻測(cè)試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡(jiǎn)便可靠；具有零位、滿度自校功能；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀采用可充電鋰電池供電，適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用！

數(shù)字電壓表：

⑴量程： 20.00mV

⑵誤差：±0.2%FSB±2LSB

⑶*分辨力：1.0µV

顯示: 4 位數(shù)字顯示，小數(shù)點(diǎn)自動(dòng)顯示

數(shù)控恒流源

⑴電流輸出：直流電流 0.1µA～1.0A，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整。

⑵誤差：±0.2%FSB±2LSB

四探針測(cè)試探頭：

有選配的型號(hào)確定，詳見(jiàn)《不同半導(dǎo)體材料電阻率/方阻測(cè)試的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)選配方

法》

電源：

功 耗：< 15W，輸入:220V±10% 50Hz±2%

本儀器工作條件為： 溫 度： 0-40℃ 相對(duì)濕度： ≥60%

工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。

 外形尺寸：主機(jī) 245mm（長(zhǎng)）×220 mm（寬）×95mm（高）

BEST-300C 測(cè)試儀能夠測(cè)量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻（薄片電阻率）R 口

以及體電阻 R，測(cè)量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。

本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測(cè)試的基本修正系數(shù)設(shè)定， 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測(cè)試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定，極大的提高了測(cè)試精度。測(cè)試類別的快捷選擇方式，方便了用戶同時(shí)測(cè)試多個(gè)參數(shù)，提高測(cè)試效率。

對(duì)于電阻器類樣品，用四端子測(cè)試線按照?qǐng)D 5-1 連接好樣品，對(duì)于半導(dǎo)體材料，測(cè)試前表面應(yīng)進(jìn)行必要的處理。如圖 5-2，對(duì)于硅材料要進(jìn)行噴砂或清潔處理，對(duì)于薄膜類的要保持表面清潔，必要的要進(jìn)行清潔。樣品放在平整的臺(tái)面上。將測(cè)試探頭的插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來(lái)，連接好探頭和主機(jī)。將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置，數(shù)字顯示亮。儀器預(yù)熱 15 分鐘以上，增加讀數(shù)穩(wěn)定性。

在設(shè)定模式下（設(shè)定完畢，保存好數(shù)據(jù)后），選擇測(cè)量類別（電阻率ρ、方塊電阻

（薄片電阻率）R 口或體電阻 R 中三選一，切換儀器到“測(cè)量”模式，窗口左側(cè)“測(cè)量” 模式燈亮。電阻測(cè)量,注意良好接觸，電壓測(cè)試端在內(nèi)側(cè)；半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試，將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中；由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量值。

注意！測(cè)量狀態(tài)中，電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式，也可調(diào)整為手動(dòng)方式，手動(dòng)方式下， 電流量程適合的，儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)，電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示，對(duì)于超量程，說(shuō)明電流過(guò)大，要調(diào)到較小電流檔；對(duì)于欠量程，說(shuō)明電流過(guò)小， 要調(diào)到較大電流檔。